点击图片查看大图主要特点
●高温抗氧化：温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。
●纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。
●耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。
●抗腐蚀：耐酸碱盐及有机试剂。
产品应用
单晶硅外延生长用的石墨基座涂层，平板基座、圆形基座、立体基座的涂层，导流筒等。
碳化硅SIC
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碳化硅SIC
详细信息 主要特点
●高温抗氧化：温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。
●纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。
●耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。
●抗腐蚀：耐酸碱盐及有机试剂。
产品应用
单晶硅外延生长用的石墨基座涂层，平板基座、圆形基座、立体基座的涂层，导流筒等。 |